Ազոտի տրիֆտորիդ (NF3) բարձր մաքրության գազ
Հիմնական տեղեկություններ
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 թ |
Ինչ է այս նյութը:
Ազոտի տրիֆտորիդը (NF3) անգույն և անհոտ գազ է սենյակային ջերմաստիճանում և մթնոլորտային ճնշման տակ։ Այն կարող է հեղուկացվել չափավոր ճնշման տակ: NF3-ը կայուն է նորմալ պայմաններում և հեշտությամբ չի քայքայվում: Այնուամենայնիվ, այն կարող է քայքայվել, երբ ենթարկվում է բարձր ջերմաստիճանի կամ որոշակի կատալիզատորների առկայության: NF3-ն ունի գլոբալ տաքացման բարձր ներուժ (GWP), երբ արտանետվում է մթնոլորտ:
Որտեղ օգտագործել այս նյութը:
Մաքրող միջոց էլեկտրոնիկայի արդյունաբերության մեջ. NF3-ը լայնորեն օգտագործվում է որպես մաքրող միջոց կիսահաղորդիչների, պլազմային ցուցադրման վահանակներից (PDP) և այլ էլեկտրոնային բաղադրիչներից մնացորդային աղտոտիչները, ինչպիսիք են օքսիդները, հեռացնելու համար: Այն կարող է արդյունավետորեն մաքրել այդ մակերեսները՝ առանց դրանք վնասելու:
Փորագրող գազ կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ. NF3 օգտագործվում է որպես փորագրող գազ կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացում: Այն հատկապես արդյունավետ է սիլիցիումի երկօքսիդի (SiO2) և սիլիցիումի նիտրիդի (Si3N4) փորագրման համար, որոնք ընդհանուր նյութեր են, որոնք օգտագործվում են ինտեգրալ սխեմաների արտադրության մեջ:
Բարձր մաքրության ֆտորային միացությունների արտադրություն. NF3-ը ֆտորի արժեքավոր աղբյուր է տարբեր ֆտոր պարունակող միացությունների արտադրության համար: Այն օգտագործվում է որպես պրեկուրսոր ֆտորպոլիմերների, ֆտորածխածինների և հատուկ քիմիական նյութերի արտադրության մեջ։
Պլազմայի արտադրությունը հարթ վահանակի էկրանների արտադրության մեջ. NF3-ն օգտագործվում է այլ գազերի հետ միասին՝ հարթ վահանակի էկրանների արտադրության մեջ պլազմա ստեղծելու համար, ինչպիսիք են հեղուկ բյուրեղային էկրանները (LCD) և PDP-ները: Պլազման էական նշանակություն ունի պանելների պատրաստման ժամանակ նստեցման և փորագրման գործընթացներում:
Նկատի ունեցեք, որ այս նյութի/արտադրանքի օգտագործման հատուկ կիրառությունները և կանոնակարգերը կարող են տարբեր լինել՝ կախված երկրից, ոլորտից և նպատակից: Միշտ հետևեք անվտանգության ուղեցույցներին և խորհրդակցեք փորձագետի հետ՝ նախքան այս նյութը/արտադրանքը որևէ հավելվածում օգտագործելը:
